01
精度能不能复现
标称值只证明一次，稳定性才决定产线。交付随机检测报告，同一基准、同一检测链贯穿出厂与现场；FAT 在厂内、SAT 在您车间，两次都留数据。
工业母机 · 超精密加工装备原厂
以纳米为刻度
制造工业母机
单点金刚石车床、超精密气浮磨床、无掩膜光刻机，以及决定它们精度的气浮主轴与气浮转台—— 从核心部件到整机，全部自主。为光学非球面、半导体晶圆减薄与航空航天结构件，提供可复现、可验收、可追溯的纳米级精度。
整机交付含出厂检测报告与 FAT / SAT 双阶段验收 · 珠三角 24 小时到场
0.001μm
编程分辨率
≤0.2μm
面形精度 PV / ⌀100 mm
≤1nm
表面粗糙度 Ra
≤50nm
气浮主轴回转精度
典型指标区间，随工件材质、口径与工艺条件变化，最终以技术协议为准。
Before you enquire
询价之前，采购工程师通常先确认这四件事
高端装备的采购决策很少由参数表单独决定。我们把买家真正会追问的四件事，直接写在首页。
02
能不能先打样
先看工件，再谈设备。寄样后出具面形与粗糙度实测报告，用您的材料、您的口径、您的验收标准来判断，而不是用样本照片。
03
交期与配置能不能锁定
主轴、导轨、转台自产，关键件不依赖进口链条。配置清单在合同阶段逐项冻结，交期按配置与工艺验证进度书面确认。
04
停机之后谁来
珠三角 24 小时到场，备件常备库覆盖主轴、编码器、驱动器；远程诊断先行，能远程解决的绝不让产线等工程师。
Product systems
六大产品体系，覆盖超精密加工的完整链路
从“把材料切到光学面”的设备，到决定这台设备精度的核心部件，再到验收它的测量仪器。
超精密车削装备 Single-point diamond turning
以单晶金刚石为刀具，把有色金属、红外晶体与高分子材料一次车削到光学面。适用于平面、球面、非球面、离轴与自由曲面。
| 型号 | 定位 | 典型能力 |
|---|---|---|
| GPC12100H | 平面超精密四轴单点金刚石车床 | 大口径平面 / 自由曲面，四轴联动 |
| GP1200H | 大口径单点金刚石车床 | 红外镜片、反射镜、模仁 |
| GPS1200N | 纳米级超精密车床 | 亚微米面形 / 纳米级粗糙度 |
- 单晶锗
- 硒化锌
- 硫系玻璃
- 单晶硅
- 铝 / 铜反射镜
- PMMA / 树脂
- 人工晶体
可配快刀伺服与 B 轴，实现微结构阵列、菲涅尔与多棱面加工。
超精密磨削装备 Ultra-precision grinding
面向硬脆材料与大口径光学件的成形与修形，配合气浮主轴实现低损伤、高面形一致性磨削。
| 机型 | 定位 | 典型能力 |
|---|---|---|
| GPS 气浮磨床 | 超精密气浮磨削 | 光学玻璃、石英、陶瓷、硬质合金 |
| 晶圆减薄磨床 | 半导体后道 | 整片厚度一致性、边缘塌边控制 |
- 光学玻璃
- 石英
- 陶瓷
- 钨钢模仁
- 硅片 / 化合物半导体
磨削与在线测量同基准，减少反复装夹带来的误差累积。
激光与光刻装备 Laser & lithography
从微结构到周期性光学结构的直写能力，覆盖皮秒 / 飞秒加工与无掩膜光刻两条路线。
| 型号 | 定位 | 典型能力 |
|---|---|---|
| GP3500 | 无掩膜光刻机 | 无需掩版的图形直写，快速迭代 |
| GPSZWBG-01A | DUV 干涉光刻系统 | 纳米级周期光栅、衍射光学结构 |
| 皮秒 / 飞秒系统 | 超快激光加工 | 硬脆材料切割、表面微结构 |
- 周期光栅
- 衍射光学元件
- 微流道
- 硬脆材料切割
与车削 / 磨削工序串联，构成“成形—结构化—检测”的完整工艺段。
核心功能部件 Air-bearing components
整机精度的源头在这里。气体静压支承无接触、无磨损、微振动，是纳米级加工的物理前提。
| 类别 | 型号 | 用途 |
|---|---|---|
| 气浮主轴 | GP13364 / GP6212-H10 / GPZ6220H | 车削、磨削、飞切主运动 |
| 气浮主轴 | GBH-248150BP/SF / GPZ65I95E / GPZ120135349H6 | 大直径、高刚性工况 |
| 气浮导轨 | GPD-80 系列 D / GP-YN2020 | 双层气浮滑台，直线进给 |
| 气浮转台 | ABR 标准系列（台面 φ120–φ300） | C 轴分度、圆度基准 |
可单件供货，也可作为在役设备的替换与升级件——这是老机床恢复到纳米级的常见路径。
精密测量装备 Metrology
没有可信的测量，就没有可信的精度。测量装备与加工装备同一基准体系。
| 设备 | 测量对象 |
|---|---|
| GPLW-AFM01 真空原子力显微镜 | 纳米级表面形貌、粗糙度 |
| 圆度仪 | 主轴与工件圆度、回转误差 |
| 台阶仪 | 膜厚、台阶高度 |
| 光栅尺 | 位移反馈与全闭环基准 |
加工与检测共用一套数据口径，避免“厂内合格、现场不合格”。
工艺与服务 Process & lifecycle
设备只是起点，工艺包与全生命周期支持才是产线真正跑起来的原因。
- 工艺打样按您的材料与验收标准试切，出具实测报告。
- 安装调试现场就位、几何校准、工艺参数导入与首件确认。
- 操作与工艺培训编程、对刀、刀具管理、检测与判读，形成岗位能力。
- 改造与升级旧机换芯：主轴、导轨、控制系统与测量回路的整体升级。
- 备件与响应常备库 + 远程诊断 + 珠三角 24 小时到场。
支持按工件族做“设备 + 刀具 + 参数 + 检测”的打包交付。
完整参数与实物图
十二款机型的整机与部件实物图、出厂技术参数表、部件选型表，已整理成独立的产品与参数中心：一页看完型号、指标、参数与交付口径。
Engineering foundations
精度不是调出来的，是被结构决定的
纳米级的表面，来自五个工程前提的叠加。缺一条，指标就只在样本照片里成立。
A
全闭环纳米进给
直线电机 + 光栅 / 激光干涉反馈，编程分辨率 0.001 μm（即 1 nm）。指令与位置之间不留“翻译误差”。
B
气体静压支承
主轴、导轨、转台均为气膜支承：无接触、无磨损、无爬行，振动幅值被压到纳米量级，寿命不随精度衰减。
C
热与振动的确定性
花岗岩基座、恒温环境、主动隔振——把“环境漂移”从工艺变量里删掉，让同一程序明天还能切出同一结果。
D
刀具与工艺链
单晶金刚石刀具刃磨、快刀 / 慢刀伺服、NURBS 直读，形状精度不再依赖后道抛光修补。
E
加工—检测一体
机载计量与在机补偿：测出来的偏差，直接回到刀路里。一次装夹完成加工与验证。
Applications
谁在用，决定了设备该长什么样
同一个“超精密”，在光学、半导体、航空航天里意味着完全不同的工件、材料与验收方式。
光学与红外
非球面、自由曲面、离轴抛物面、衍射面与红外镜片。直接车削到光学面，省掉传统抛光工序。
半导体与先进封装
晶圆减薄、模仁与掩膜结构、周期光栅。厚度一致性与边缘完整性是产线验收的硬指标。
航空航天
大口径反射镜、轻量化结构件、精密轴承件。极端工况下，面形与表面质量直接决定成像与寿命。
生物医疗
人工晶体、内窥镜光学件、精密器械。小口径、高陡度、批量一致性的组合要求。
模具与复制工艺
光学模仁、辊筒、微结构复制母版。一次做对母版，后面每一片都省成本。
科研与计量
高校与院所的重点实验室，用于新材料、新结构的工艺验证与小批量制备。
Benchmark
把自己放进全球坐标系里比较
超精密机床是一个由少数厂商定义了三十年的行业。下面的对照整理自各厂商公开资料，只用于选型参考——我们更愿意把差距和优势一起摆出来。
| 厂商 | 国家 | 代表产品 | 公开特点 | 选型时通常关注 |
|---|---|---|---|---|
| Precitech（AMETEK） | 美国 | Nanoform 系列 | 行业定义者之一，亚纳米级表面，装机量与应用工艺库深厚 | 极限精度、成熟工艺包、全球服务网络 |
| Moore Nanotechnology | 美国 | 350FG / 1500UPL | 自由曲面与大口径能力强，机载计量成熟 | 大口径自由曲面、长期稳定性 |
| Schneider Optical Machines | 德国 | UPC 系列 | 2–5 轴平台化，快刀伺服行程大，机载干涉测量，加工与检测单次装夹 | 一次装夹完成加工+检测、模块化 |
| Innolite GmbH | 德国 | 超精密加工系统 | 专注超精密成形与模具，2025 年起与 Rainford Precision 建立合作 | 特定工艺的深度定制 |
| LT Ultra-Precision | 德国 | 超精密车 / 铣平台 | 德系精密工程路线，结构刚性与热稳定性取向明确 | 长期精度保持、结构可靠性 |
| Kugler GmbH | 德国 | 精密机床与专用模块 | 专用化程度高，按工件族定制 | 专用工艺匹配度 |
| FANUC | 日本 | 超精密机床 / 自动化 | 控制系统与自动化生态完整，全球服务网络密集 | 产线集成、可维护性 |
| Shibaura Machine（东芝机械） | 日本 | ULG 系列（历史机型） | 早期金刚石车床的重要供应者，现归属 Shibaura Machine 体系 | 存量设备维护与替代 |
| 光波科技 | 中国 · 深圳 | GPC12100H / GP1200H / GP13364 | 主轴、导轨、转台、整机同一体系自研；863 计划重大项目承担单位 | 部件级可控、交期与备件、本地工艺支持 |
左右滑动表格可查看完整对照 →
从对标里提炼出的四条优势
- 全栈自研，不被单点卡住。气浮主轴、气浮导轨、气浮转台与整机同源开发，精度指标不是采购件拼出来的，交期与备件也不由第三方决定。
- 精度可复现，可验收。交付即带检测报告，FAT / SAT 双阶段留痕，同一基准贯穿厂内与现场。
- 工艺贴身，不只卖设备。按工件材料与验收标准给“刀具 + 参数 + 检测”的工艺包，而不是让客户自己摸索三个月。
- 供应链可控，可审计。关键部件无出口管制依赖，国产替代路径清晰，适合有自主可控要求的产线与科研项目。
我们也清楚差距在哪
在超大口径极限面形、数十年级工艺数据库、全球服务网点密度上，头部厂商仍有明显积累优势。我们的策略不是在这些维度上宣称超越，而是在 同等可验收精度下，把交期、响应与部件可控性做到更优，并把工艺支持放在客户车间里，而不是放在手册里。
对照信息来源：各厂商官网与公开产品资料（Precitech、Moore Nanotech、Schneider、Innolite、LT Ultra、Kugler、FANUC、Shibaura Machine）。参数以各厂商公开文本为准，此处仅作选型参考。
Customer voices
买家用什么判断一台设备
不是参数表，是产线上连续三个月的数据。
“我们最怕的是批次漂移。连续三个月跟踪同一台设备加工同规格锗镜头，PV 波动控制在 0.05 μm 内——这个稳定性比标称值更有说服力。”
“晶圆减薄最怕边缘塌边。他们把主轴和吸盘当成一个系统来做，整片厚度一致性做到了我们产线验收线以内。”
“选型到验收，他们带着干涉仪上门做比对标定。愿意把检测摊开来给你看的供应商，通常不会在参数上含糊。”
以上为客户访谈摘录，经客户同意隐去企业名称与个人信息。
Credibility
能被核查的，才叫公信力
资质、来源、装机与验收方式，都可以被第三方复核。
863
国家高技术研究发展计划
承担“大尺寸微纳米压印辊筒技术”重大项目，核心技术源自该专项成果。
6
六大产品体系
车削、磨削、激光与光刻、核心部件、精密测量、工艺服务，构成完整链路。
1000+
用户企业 · 20 所科研机构
设备与部件累计服务 1000+ 家企业用户，并与 20 余所高校院所建立长期合作，覆盖半导体、光学、航空航天与生物医疗。
2
FAT / SAT 双验收
厂内预验收与现场终验收，两套数据，同一基准，可追溯。
长期合作的科研与产业单位（部分）
- 清华大学精密测量与控制
- 哈尔滨工业大学自动化
- 中国科学院新材料
- 中国电子科技集团半导体装备
- 长春光机所光学装备
- 华中科技大学先进制造
每次交付，随设备提供
- 出厂检测报告（面形 / 粗糙度 / 几何精度实测数据）
- 关键部件材质与计量溯源文件
- 配置清单与软件版本冻结记录
- 操作、编程与维护手册
- 质保与备件承诺书
Enquiry
把工件告诉我们，
再谈设备
填写下方信息可生成一份结构化询价单，复制后微信或邮件发送即可；也可以直接致电，由工艺工程师接。
Technical Q&A
选型时最常被问到的十个问题
这些答案同时作为结构化数据提供给搜索引擎与 AI 检索，便于采购方直接比对。
单点金刚石车床能加工多大口径的工件？
口径能力取决于机型与配置。平面与自由曲面类机型（如 GPC12100H）面向大口径平面与四轴联动加工；大口径红外镜片、反射镜与模仁可选 GP1200H 系列。具体口径请按工件图沟通确认，以技术协议为准。
面形精度和表面粗糙度能做到什么水平？
典型指标为面形 PV ≤ 0.2 μm（⌀100 mm 量级）、表面粗糙度 Ra ≤ 1 nm，随工件材质、口径与工艺条件变化。交付时提供实测检测报告，指标以技术协议中的验收条款为最终依据。
和 Precitech、Moore Nanotech、Schneider 这些厂商怎么比较？
头部厂商在极限面形、数十年工艺数据库与全球服务网络上积累更深。光波科技的优势在于主轴、导轨、转台与整机同一体系自研，交期与备件可控，本地工艺支持贴近产线；在可验收精度相当的前提下，综合使用成本与响应速度更优。
可以先打样再决定采购吗？
可以。提供工件图纸、材料与验收标准后安排试切，并出具面形、粗糙度的实测报告。打样是判断设备是否匹配产线的最短路径，也是我们建议的第一步。
交期一般多久？
交期随配置、工艺验证内容与关键件排产而变，合同阶段逐项冻结配置清单并书面确认节点。核心功能部件（主轴、导轨、转台）通常短于整机。
支持哪些材料？
有色金属（铝、铜、镍）、红外光学材料（单晶锗、硒化锌、硫系玻璃、单晶硅）、高分子材料（PMMA、树脂）、人工晶体，以及玻璃、石英、陶瓷、钨钢等硬脆材料的磨削加工。
气浮主轴、气浮导轨、气浮转台可以单独供货吗？
可以。核心功能部件既用于自有整机，也单独供货给设备厂与在役设备改造项目。常见场景是旧机床通过更换主轴与导轨恢复纳米级能力。
售后与备件响应是怎样的？
远程诊断先行，珠三角地区 24 小时到场；备件常备库覆盖主轴、编码器、驱动器等关键件。质保范围与响应时限写入合同。
旧设备能做改造升级吗？
可以。改造通常包含支承系统（主轴 / 导轨 / 转台）、控制系统与测量回路的整体升级，并重新做几何校准与工艺验证，目标是把精度恢复到可验收水平。
如何开始询价？
三种方式：填写本页询价单生成结构化需求；致电 +86 189 3884 4421 或 +86 189 4870 5907（微信同号）；也可先寄样，我们出具打样报告后再进入设备选型。